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1、 椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。
2、由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。
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